範囲

正圧側：大気圧～1MPa
負圧側：大気圧～100㎜Hg程度

備考

正圧側は能力的に5MPa程度まで可能なのですが、上記の値は補助機器類（ホース、レギュレータ、フィルターなど）の耐圧、供給圧力の確保が困難なことによります。

2MPa程度までであれば補助機器類も入手でき、対応可能です。

負圧側（真空側）は真空ポンプの能力によります。正負圧をまたぐ制御も可能です。

供給圧力は制御したい圧力範囲より1～2割程度高めの圧力が必要です。

範囲

最小分解能：0.1kPa程度
(0.001kgf/cm²)

備考

使用する圧力センサの精度や使用するバルブの性能により異なりますが、静的な精度として可能な値です。

動的な制御の精度は条件により異なります。

範囲

容量は数cc～10L程度

備考

実績では容量が10L程度の大きな物もありますが、非常にゆっくりとした制御になります。

容量が数ccの場合は配管部分の容量も性能に影響を与えますので注意が必要です。

範囲

DC～20Hz程度

備考

容量の大きさとバルブの大きさ配管長さ等で制御できる範囲が変わりますのでお問い合わせください。

容量を小さくして脈動（非常に小さい圧力変動）を発生する場合は100Hz程度まで可能です。